Middle Frequency and Bipolar Pulse Generator SB 300 (초간단 설치, 가격대비 최대안정성있는 Reactive Sputter가능모듈)
- 본 Pulse Generator는 대칭적이고 정확한 구형파의 Bipolar Pulse를 발생시키고 Dual-magnetron target에서 발생되는 Unbalance power에 대해 자동적으로 power ratio 조절이 되도록 설계된 독창적인 독일 기술을 적용한 제품입니다. 더우기 두가지 서로 다른 Target인경우에도 자동 Power ratio가 적용이되어 완벽한 Reactive Pulse Generator로의 자부심을 갖습니다. 내장된 The ratio power controller가 the pulse time을 The Pulse width modulation (PWM)에 의해 자동적으로 조절되는 기능을 탑재한것입니다. 본제품은 주파수 20kHz로 고정되어 있으며, 파워풀한 Automatic Arc-suppression기능이 내장되어 있습니다. HX-DC Power와 함께 Link를 이루어 Arc 후 Rr-ignition할 때 필요한 휴지시간이 자동적으로 조정되어 Re-ignition시간이 별도의 Programming이 필요하지 않고 최대한 짧아집니다. 병렬확장에서도 자동 Sync기능이 있어 손쉽게 확장가능하며 Pulse generator는 자동적으로 외부 Syncronize하여 설치하기 쉽습니다.
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Output power 30kW, AC
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Combination of units in Master/Slave or parallel up to 240kW
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Ratio Power Controller
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Automatic synchronization
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Water cooling
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Very compact design
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Output floating
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Modular system allows combination of HX (DC) with unipolar pulse generator (SD) or bipolar pulse generator (SB)
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Compact design ½ 19“
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Bipolar Pulse Generator with PWM-control guarantees absolut symmetric sputtering!
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Excellent ultrafast and fully automatic Arc-management
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Process reproducibility: better than 1-2%
